超高纯气体系列产品
适⽤用于超高纯、强腐蚀性和毒性⽓气体7.0此系列产品专为半导体气体⼯工业⽽而研发，适用于高纯和超高纯，强腐蚀性，易燃易爆，强氧化性和剧毒性气体等各种化学品。 产品和组件全部经过电解抛光，内表面洁净度可达Ra0,15μm，在氦检时的最大泄漏率< 1.10-9 mbar.l/sec。 此系列产品专为半导体气体⼯工业而研发，适用于高纯和超高纯，强腐蚀性，易燃易爆，强氧化性和剧毒性气体等各种化学品。产品和组件全部经过电解抛光，内表面洁净度可达Ra 0,15μm，在氦检时的最大泄漏率< 1.10-9 mbar.l/sec。
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